大連理工大學 碩士學位論文 冶金法提純多晶硅過程中氮化硅涂層的研究 姓名:劉美 申請學位級別:碩士 專業:材料學 指導教師:聞立時譚毅 大連金屬粉末、高純材料等事業部,熱烈歡[#]2014年10月14日 各位大神 本人研究用金屬硅與二氧化硅在氮氣氣氛下高溫合成氧氮化硅 合成的粉末中氧氮化硅含量約為90% 其余成分大部分為氮化硅 現在想得到純度更高的氧氮化硅[#]2019年9月24日 根據本發明氮化硅粉的生產方法,采用液氨對反應產物反復萃取提純,能夠有效的萃取出副產物氯化銨,控制Si(NH)2中氯的含量,獲得高純度的Si(NH)2中間體Si(NH)2加熱[#]2020年12月6日 法律狀態 法律狀態公告日 法律狀態信息 公開 發明申請公布后的視為撤 回 法律狀態 公開 發明申請公布后的視為撤 回 權利要求說[#]2012年9月3日 1.一種利用回收提純硅片鋸屑粉制備氮化硅的方法,其特征在于,包括以下步驟:1)將所述硅片鋸屑粉放入容器內,再通入保護氣體,在所述保護氣體的保護下進行次升溫,[#][0001] 本發明設及高純度微米納米級氮化娃粉的制備方法,具體設及到利用高純四氯化 娃在高純液氨和有機溶液中進行反應制備二亞氨基娃,并對二亞氨基娃進行提純和熱處理 來制備[#]氮化硅材質的容器中,焙燒可獲得晶態氮化硅粉.本發明低溫反應制備了二亞氨基硅粉體,并用液氨洗滌萃取氯化銨提純,后經多次熱處理形成高純度納米微米級球形氮化硅粉.本發明的制